

V 감광액 소재를 만드는 동진쎄미켐, EUV 마스크 리페어 장비 기업인 파크시스템, EUV 펠리클(포토마스크 오염 방지 부품) 관련 장비를 만드는 에프에스티 등도 담고 있다. 그 외에도 GAA 식각액 소재 기업인 솔브레인과 GAA ALD(원자증착법) 장비 기업인 원익IPS 역시 투자 기업이다.[김제림 기자]
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发布时间:19:27:12
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